具体的な業務内容
リリース後の装置の機能・性能に関する維持設計及び品質不良発生時の不具合特定分析・評価試験等の対応をお任せします。
[インテグレーション系]装置全体レイアウト設計、及びモジュール設計、冷却水系、圧空・窒素供給系、真空排気系、ソースガス供給系、及びフレーム・ドアなどの外装設計
[ウェハ搬送系]1時間に数百枚のウェハをイオン注入口に搬送するロボットの改善開発設計。ボルトの疲労破壊やロボット部品の破断といったトラブルに対し、分析・改善案立案・部品手配・組立評価といった維持設計、生産中止部品の新規部品選定といった業務。