具体的な業務内容
イオン注入装置内のウエハ搬送用の静電チャック、回転式ディスクならびに付帯部品の製作を行っていただきます。
【製造リードタイム】ディスク製作全体のリードタイムは約1か月となります。
【業務詳細】(1)手入れ作業:紙やすりのようなもので表面の研磨をします。(客先品オーバーホールの場合は電極パッドを剥がす作業もあります。)(2)パック貼り:電極パッドを接着していきます。(3)Siコート:装置を使い成膜をします。(4)組立:ウエハ搬送部分の組立や、配線作業を行います。(5)検査:バランスにずれがないか、取り付け部分に空気の漏れがないかのテストをします。